深紫外穆勒矩阵椭偏仪采购公示
发布时间:2022-05-10   访问次数:264   作者:

项目名称:深紫外穆勒矩阵椭偏仪

采购单位:bat365在线平台

采购方式:询价

成交单位:武汉颐光科技有限公司

成交价格:378000元

购买数量:1

产品型号:SE-VM-L(190-1000nm)

评审日期:202259

主要技术参数:

1.测量能力:一次性获得全穆勒矩阵16个元素(m11归一化,8组rpp, rss主对角偏振元素,8组rsp, rps辅对角偏振元素)、偏振态Psi/Delta(其中Delta值域:-90-270°,360度无死角)、反射率/透射率、退偏指数等光谱

2.光谱范围:190-1000nm 覆盖深紫外到近红外波段,无光纤外接设计

3.测量时间:单点测量不超过15秒

4.光斑尺寸:大光斑模式2-4mm,微光斑模式200μm消透明衬底背反

5.可视化调平系统:支持样件台可视化辅助对准调平

6.光强调节方式:基于样件反射信号自适应调整积分时间实现最佳光强信号探测 ,支持实时打印积分时间、采集帧数

7.调制技术:超级消色差双旋转补偿器PCr1SCr2A调制技术

8.入射角范围:45-90°(5度步进) 

9.样品台:支持Z向,俯仰可调,支持样件尺寸到Ф200mm,支持样件真空吸附固定

10.重复性测量精度:优于0.005nm (100nm SiO2硅片,30次重复测量)

11.偏振精度:穆勒矩阵优于:对角元素m=1±0.005, 非对角元素m=0±0.005(直通模式测量空气,所有测量波长点的90%满足)

12.褪偏指数Depolarization精度优于:±0.5%(测量裸硅,全波段90%满足)

13.分析软件:支持16个穆勒矩阵偏振元素建模仿真与分析功能,内置多达数百种的光学材料常数数据库,并支持用户自定义光学材料库;具备多层各向同性/异性光学薄膜建模分析能力

14.测控分析电脑:CPU:≥双核心处理器,RAM:≥8G,ROM:≥1024G,显示器:≥19寸, windows操作系统



公示时间:2022.5.10-2022.5.16,如有异议请拨打64253334向王伟老师反映。